Patent

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국내특허: 기포구동흐름이 적용된 상변화물질과 대류벽을 이용한 옥외 디스플레이 열관리 장치 (Outdoor display thermal management device using phase change material and convection wall to which bubble driving flow is applied)
출원일자: 2022.11.14
출원번호: 10-2022-0152092


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국내특허: 기포 구동 흐름이 적용된 상변화물질을 이용한 간접 냉각식 배터리 열관리 장치 (Batter thermal management apparatus based on Indirect cooling using phase change material applied bubble driving flow)
출원일자: 2022.05.17
출원번호: 10-2022-0060077


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국내특허: 반도체 처리용 노즐 및 이를 포함하는 반도체 처리 장치 (Nozzle for semiconductor processing and apparatus for semiconductor processing including the same)
출원일자: 2020.12.09
출원번호: 10-2020-00171433


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국내특허: 잉크젯 헤드 세정 장치, 잉크젯 헤드 세정 방법 및 이를 이용한 기판 처리 방법(INKJET HEAD CLEANING APPARATUS, INKJET HEAD CLEANING METHOD AND SUBSTRATE TREATING METHOD USING THE SAME)
출원일자: 2019.03.11
출원번호: 10-2019-0027514


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국내특허: 밸브조립체 및 이를 구비한 집적형 하이브리드 구동장치 및 이의 운전방법(VALVE
ASSEMBLY AND PIEZOELECTRIC PUMP-HYDRULIC ACTUATOR HAVING THE SAME AND
METHOD FOR DRIVING THEREOF)
등록일자: 2018.07.09
등록번호: 1018781530000 

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국내특허: 방열 장치(HEAT RADIATING APPARATUS)
등록일자: 2018.04.24
등록번호: 1018535670000 

9
국내특허: 수질정화 장치(Apparatus for purifying water)
등록일자: 2018.04.03
등록번호: 1018473350000 

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해외특허(미국): HEATING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
HAVING THE SAME (가열 장치와 이를 가지는 기판 가공 장치)
Pub. Date: Aug.3,2017
Pub. No.: US 2017/0218507 A1 

7
국내특허: 수질정화장치(APPARATUS FOR PURIFYING WATER)
등록번호: 2017.08.28
등록일자: 1017741590000 

6
국내특허: 이온풍을 이용하는 방열장치(HEAT RADIATING APPARATUS USING ION WIND)
등록일자: 2017.02.15
등록번호: 1017089990000 

5
국내특허: 이온풍을 이용하는 히트싱크(HEAT SINK USING IONIC WIND)
등록일자: 2017.02.14
등록번호: 1017085540000 

4
국내특허: 가열 장치 및 이를 갖는 기판 처리 시스템(HEATING APPARATUS AND SUBSTRATE
PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME)
출원일: 2016.01.29
출원번호: 1020160011115 

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국내특허: 웨이퍼 보트 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치(Wafer boat and semiconductor
    fabricating apparatus including the same)
출원일: 2016.01.07
출원번호: 1020160002194 

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국내특허: 이온풍을 이용한 방열장치(HEAT RADIATING APPARATUS USING IONIC WIND)
등록일자: 2015.04.13
등록번호: 1015134020000 

1
국내특허: 이온풍을 이용하는 히트싱크(HEAT SINK USING IONIC WIND)
등록일: 2015.04.10
등록번호: 1015129360000