Patent

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국내특허: 밸브조립체 및 이를 구비한 집적형 하이브리드 구동장치 및 이의 운전방법(VALVE
ASSEMBLY AND PIEZOELECTRIC PUMP-HYDRULIC ACTUATOR HAVING THE SAME AND
METHOD FOR DRIVING THEREOF)

등록일자: 2018.07.09
등록번호: 1018781530000 

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국내특허: 방열 장치(HEAT RADIATING APPARATUS)
등록일자: 2018.04.24
등록번호: 1018535670000 

9

국내특허: 수질정화 장치(Apparatus for purifying water)
등록일자: 2018.04.03
등록번호: 1018473350000 

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해외특허(미국): HEATING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
HAVING THE SAME (가열 장치와 이를 가지는 기판 가공 장치)

Pub. Date: Aug.3,2017
Pub. No.: US 2017/0218507 A1 

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국내특허: 수질정화장치(APPARATUS FOR PURIFYING WATER)
등록번호: 2017.08.28
등록일자: 1017741590000 

6

국내특허: 이온풍을 이용하는 방열장치(HEAT RADIATING APPARATUS USING ION WIND)
등록일자: 2017.02.15
등록번호: 1017089990000 

5

국내특허: 이온풍을 이용하는 히트싱크(HEAT SINK USING IONIC WIND)
등록일자: 2017.02.14
등록번호: 1017085540000 

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국내특허: 가열 장치 및 이를 갖는 기판 처리 시스템(HEATING APPARATUS AND SUBSTRATE
PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME)

출원일: 2016.01.29
출원번호: 1020160011115 

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국내특허: 웨이퍼 보트 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치(Wafer boat and semiconductor
    fabricating apparatus including the same)

출원일: 2016.01.07
출원번호: 1020160002194 

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국내특허: 이온풍을 이용한 방열장치(HEAT RADIATING APPARATUS USING IONIC WIND)

등록일자: 2015.04.13

등록번호: 1015134020000 

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국내특허: 이온풍을 이용하는 히트싱크(HEAT SINK USING IONIC WIND)

등록일: 2015.04.10

등록번호: 1015129360000 

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