Patent
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국내특허: 이온풍을 이용하는 방열장치(HEAT RADIATING APPARATUS USING ION WIND)
등록일자: 2017.02.15
등록번호: 1017089990000
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국내특허: 웨이퍼 보트 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치(Wafer boat and semiconductor
fabricating apparatus including the same)
출원일: 2016.01.07
출원번호: 1020160002194
등록일자: 2015.04.13
등록번호: 1015134020000
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국내특허: 이온풍을 이용하는 히트싱크(HEAT SINK USING IONIC WIND)
등록일: 2015.04.10
등록번호: 1015129360000